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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

詳細(xì)摘要：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），符合CE認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，生長(zhǎng)樣品腔的管徑60-120mm，它是由高溫管式爐、多路高精度流量控制與供氣系統(tǒng)...
產(chǎn)品型號(hào)：所在地：東莞市更新時(shí)間：2025-07-30 在線留言
等離子體修飾系統(tǒng)

詳細(xì)摘要：等離子體修飾系統(tǒng)，利用卓聚自創(chuàng)的三溫區(qū)管式爐，通過(guò)氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜
產(chǎn)品型號(hào)：所在地：東莞市更新時(shí)間：2025-07-30 在線留言

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